??GASS立式甩干機(jī)是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點(diǎn)，不同晶圓尺寸，可通過(guò)快速更換轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，設(shè)備本身有單腔室和雙腔室2種結(jié)構(gòu)，體型小運(yùn)行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。GASS立式甩干機(jī)設(shè)備特點(diǎn)· 可以快速拆卸更換轉(zhuǎn)子；· 采用直驅(qū)式高性能無(wú)刷電機(jī)；· 設(shè)備正常穩(wěn)定工作時(shí)間≥95%，碎片率低于千分之一；· 顆粒度增加值 <10 (0.3 micron)，甩干后表面無(wú)水漬、無(wú)污染物；· 整機(jī)采用進(jìn)口PFA/PVDF/PTFE管件/噴嘴；· 氣動(dòng)控制部件采用進(jìn)口SMC壓力開(kāi)關(guān)/電磁閥；· 電源主空氣開(kāi)關(guān)帶漏電保護(hù)；· 當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異常時(shí),按急停按鈕可停機(jī)；· 動(dòng)力條件監(jiān)測(cè)及報(bào)警；· 加熱系統(tǒng)超溫保護(hù)；· 門(mén)禁/擺正監(jiān)測(cè)報(bào)警。浙江浙江